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精密研磨抛光设备GNAD系列

发布时间:2024-01-20      来源:网络


  GNAD系列高精度研磨抛光设备是MCF公司研制的覆盖半导体材料,光电材料等应用领域的精密磨抛设备。主要适用的材料包括:硅,砷化镓,铌酸锂,光纤,碳化硅,蓝宝石,碲锌镉等多种材料。

  夹具配备晶片研磨厚度在线监测装置,数字显示,监测精度1um,夹具自身对晶片的压力连续可调。真空系统通过抽真空的方式将样品直接吸附在样品固定装置底面。根据不同工艺要求,真空系统可以直接吸附样品或者直接吸附贴有样品的玻璃基板。

  MCF公司可根据用户需求,提供完整的工艺方案,同时定制匹配方案的设备机型。详情请联系销售代表。